Rozwiązania w zakresie węży dla przemysłu półprzewodnikowego

Firma APT Advanced Polymer Tubing, należąca do Masterflex Group, rozszerzyła strategiczne partnerstwo z firmą Chemours. Chemours jest producentem marki Teflon™. Dla klientów z branży półprzewodników współpraca ta łączy bazę materiałową firmy Chemours z kompetencjami APT w zakresie przetwarzania i zastosowań fluoropolimerów – w szczególności w odniesieniu do dostosowanych do potrzeb klienta rozwiązań w postaci węży z PFA o wysokiej czystości. Konkretny dobór materiałów i ich przydatność są zawsze oceniane na podstawie odpowiednich wymagań procesowych, specyfikacji i zatwierdzeń.

Grupa Masterflex wspiera zapewnienie jakości rozwiązań w zakresie węży poprzez stosowanie wykwalifikowanych procesów kontrolnych i nowoczesnej techniki badawczej. Produkty i wyroby konfekcjonowane są regularnie kontrolowane w określonym zakresie w celu sprawdzenia odpowiednich wymagań dotyczących materiału, wymiarów, wykonania oraz cech jakościowych specyficznych dla danego projektu. W przypadku projektów OEM, Tier 1 oraz projektów wymagających wysokiej czystości wymagania testowe, dokumentacja i kryteria zatwierdzenia są uzgadniane na wczesnym etapie.

W zastosowaniach w przemyśle półprzewodnikowym można rozważać zastosowanie węży z fluoropolimerów, takich jak PFA, PTFE lub FEP. Odpowiednie rozwiązanie w zakresie węży dobiera się na podstawie medium procesowego, wymagań dotyczących czystości, temperatury, ciśnienia, obciążenia mechanicznego, warunków montażu oraz technologii połączeń.

Wąż z PFA przeznaczony dla przemysłu półprzewodnikowego może być dobrym rozwiązaniem, jeśli służy do transportu chemikaliów procesowych lub mediów o najwyższej czystości oraz gdy obowiązują wysokie wymagania dotyczące odporności materiału, czystości i bezpieczeństwa procesu. To, czy PFA nadaje się do konkretnego zastosowania, zawsze weryfikuje się na podstawie rzeczywistych parametrów procesu oraz specyfikacji klienta.

Węże z PFA i PTFE mogą – w zależności od zatwierdzenia technicznego – stanowić elementy systemów przetwarzania na mokro oraz systemów dostarczania substancji chemicznych. Typowymi punktami połączeń są połączenia między systemem dostarczania substancji chemicznych, pompami, filtrami, zaworami i modułami procesowymi. Przy projektowaniu istotne znaczenie mają w szczególności rodzaj substancji chemicznej, jej stężenie, temperatura, ciśnienie oraz wymagania dotyczące czystości.

Aby zaprojektować konstrukcję o odpowiedniej wytrzymałości, potrzebujemy w idealnym przypadku informacji dotyczących medium procesowego i jego stężenia, temperatury, ciśnienia roboczego, wymiarów, promienia gięcia, miejsca zastosowania, wymagań dotyczących czystości, a także pożądanego rozwiązania w zakresie przyłączy lub montażu. W przypadku projektów seryjnych istotne są dodatkowo roczna wielkość produkcji, wytyczne dotyczące jakości, wymagania dotyczące dokumentacji oraz zarządzanie zmianami.

Konfekcje węży dostosowane do potrzeb klienta można dopasować do warunków montażu, geometrii węża oraz technologii połączeń w ramach projektu OEM lub Tier 1. Przed zatwierdzeniem produkcji seryjnej należy wspólnie określić wymagania techniczne, interfejsy, kryteria kontroli oraz niezbędną dokumentację.

W instalacjach półprzewodnikowych, w zależności od procesu, stosuje się rozwiązania z wykorzystaniem węży do transportu sprężonego powietrza, próżni, czynników regulujących temperaturę, cieczy, chemikaliów procesowych lub zawiesin. Przykładami są przewody powietrzne i cieczowe w urządzeniach litograficznych, przewody do transportu chemikaliów w urządzeniach do procesów mokrych, a także przewody do transportu mediów w systemach pakowania i testowania. Wybór materiału należy w każdym przypadku zweryfikować pod kątem konkretnego procesu i transportowanego medium.

Osoby odpowiedzialne za zakupy powinny uwzględnić nie tylko materiał i wymiary, ale przede wszystkim specyfikację, medium, warunki procesowe, pożądany sposób wykonania, wymagania jakościowe, zakres dokumentacji, proces zatwierdzania oraz planowane ilości. Wczesne uzgodnienia techniczne pomagają jasno zdefiniować zakres dostawy, interfejsy oraz wymagania dotyczące produkcji seryjnej.

Osiągalny poziom czystości i higieny rozwiązania opartego na wężach zależy od materiału, procesu produkcji, montażu, opakowania, a także od określonych wymagań dotyczących kontroli i dokumentacji. W przypadku zastosowań wymagających wysokiej czystości należy na wczesnym etapie uzgodnić wymagania specyficzne dla danego klienta. Obejmują one na przykład wytyczne dotyczące cząstek stałych, odgazowania, czyszczenia lub pakowania, o ile mają one znaczenie dla danego projektu.

Zakres wymaganej dokumentacji ustala się indywidualnie dla każdego projektu. W zależności od zastosowania mogą one obejmować specyfikacje techniczne, informacje o materiałach, parametry kontrolne, dokumenty zgodności, dane dotyczące partii lub identyfikowalności, a także zatwierdzone rysunki. Przed zatwierdzeniem produkcji seryjnej należy jasno określić, jakie dokumenty są dostępne i wymagane.

Możliwy sposób wykonania zależy od materiału węża, wymiarów, warunków eksploatacji oraz punktu połączenia w systemie. Istotnymi czynnikami są rodzaj przyłącza, koncepcja uszczelnienia, przestrzeń montażowa, warunki montażu oraz wymagania dotyczące czyszczenia lub możliwości wymiany. Konkretny wariant wykonania należy zatem ustalić wspólnie z działem konstrukcji i działem jakości.

Identyfikowalność (COA) jest realizowana w ramach procesu zdefiniowanego dla konkretnego projektu. Możliwe elementy to oznakowanie, przypisanie do partii, dokumentacja, status kontroli lub zdefiniowane cechy identyfikacyjne. Wymagany zakres zależy od zastosowania, procesów zapewnienia jakości oraz wytycznych klienta.